藉由形成鍺化鈦在N型鍺上實現低接觸電阻之鍺技術研究

Thesis

藉由形成鍺化鈦在N型鍺上實現低接觸電阻之鍺技術研究

張蕙心

Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系

2016

Abstract

鍺化鈦

N型鍺

接觸電阻

蕭特基能障高度

鍺技術

費米能階釘札

Titanium germanide

n type germanium

contact resistivity

Schottky barrier height

Fermi level pinning

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Details

Title: 藉由形成鍺化鈦在N型鍺上實現低接觸電阻之鍺技術研究
Translated title: 藉由形成鍺化鈦在N型鍺上實現低接觸電阻之鍺技術研究
Creators: 張蕙心
Contributors: 巫勇賢 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 工程與系統科學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017