Abstract
本研究的目的是建立區域平均模式( global model )的電腦模擬程式，模擬以H2、Ar、NH3為工作氣體的螺旋型電感耦合式電漿源，幫助了解電漿中的物理現象與化學特性，以及電漿系統操作參數的變化對各電漿參數的影響。先作單一分子氣體H2的電漿模擬，以確立模擬程式的正確性; 再作Ar及NH3的電漿模擬，與實驗結果作比較，相互驗證。另外，H2及NH3的電漿模擬資料，也可以作為日後作H2/C2H2及NH3/C2H2混合氣體電漿模擬時的參考。 H2電漿的模擬程式分為二個部分，以探討H原子擴散效應的有無對電漿特性的影響; Ar及NH3的電漿模擬採用和實驗相同的系統操作參數(進氣流量、工作氣壓、以及輸入電漿的功率)，再將兩者的結果作比較。模擬將針對電漿系統內工作氣壓及電漿吸收功率的改變，對各粒子密度及電子溫度的變化情形進行分析及研究。 藉由模擬所得到的電漿特性資料，一來可以彌補實作實驗上的不足，再者可以作為進行實驗時，調整電漿系統操作等實驗製程參數的參考，進而加以改善。