Abstract
微機電系統可以應用的範圍相當廣範，不論是在生物醫學上、化學分析檢驗上以及在工業上，均有發展的空間與潛力。 微幫浦系統的主要目的在於求得微小流量之精密控制。若要達到控制流量的目的，首先必須要先知道此微幫浦模型之轉移函數。關於此點，在本論文中是以實驗所得之結果來找出近似實驗數據的近似曲線，再推算出代表此近似曲線的近似轉移函數。應用在流量控制上時，此轉移函數即可作為所要控制之物件模型。 除了實作之外，尚針對此微幫浦作定性與定量之分析。定性分析主要是利用柏努利方程式來對無閥式微幫浦的作用原理作分析，而定量分析則是針對微幫浦微致動器之彎曲變形量來探討流量的大小。 無閥式微幫浦因內部流場的關係，會在擴散器╱噴嘴結構上受到限制，電壓大小亦會影響變形量。然而一些在定性分析上所應用之參數，則另需更精密的流體實驗方能正確的獲得。 在本論文中對於原理的分析上所提出的論點，希望能對後續研究者提供一個可以參考的依據。 在論文的最後一章中會對實驗元件(微幫浦)以及在實驗過程中發生影響實驗的一些現象作討論，其中包括微幫浦的擴散器╱噴嘴結構在其幾何形狀的條件；流體內聚力與表面張力的影響等。 微機電系統在臺灣算是一個新興起的研究領域，除了全國各大專院校對其有相當濃厚的興趣外，一些機構如工業技術研究院、中科院等也已開始嘗試進入此一領域。在工研院已在院本部下成立微機電中心，擁有專屬的實驗室，如火如荼的進行研究工作。在國內的大學中，超越系所而聯合起來進行研究計劃的也不勝枚數。這些都賦予了此一新生命無限的活力。因為是新興的領域，對於未來的變數仍多。但微機電系統在製程上與半導體產業有很大的相關性，臺灣的半導體產業相當的興盛，製程技術也相當優異，而此點也在無形中給了微機電系統極大的背書。雖然未來的日子仍然漫長，但相信這一個新興的高科技產業，未來在臺灣一定能開花結果！