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表面張力驅動之陣列式微型混合器之研製
Thesis

表面張力驅動之陣列式微型混合器之研製

許惠婷
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
2004

Abstract

混合器 濃度梯度 微流體 微機電 mixer concentration gradient microfluid MEMS
本研究設計一陣列式微型混合器,以表面張力做為驅動力,透過 特殊開放式的微流道網絡與混合腔體設計,利用壓力差完成有效定 量、同步且快速的混合效果。晶片中特殊流道的網絡設計,可定量不 同體積比例的二欲混合流體,並利用電濕潤法與流道梯度設計造成的 壓力差將其同時、反向地引流至混合腔體內,其後,利用兩反向流體 造成的介面作用力,在陣列式的混合腔體(250x250x60μm3) 中生成三維渦流,達到體積定量、快速且陣列式同步混合效果。 研究中探討四種不同腔體次結構設計(基礎型、橫閂型、導角型、 改良式橫閂型)與三代陣列式微型混合器對混合效率的影響。逆時針 長橫栓的次結構設計混合效率較佳,其可限制流體進口長度與混合區 域、影響混合介面長度,使兩液體在160ms 內造成均勻且快速的混合;搭配第三代陣列式微型混合器的外部定量設計,可一次多工地完成不同濃度樣品的混合需求。 研究中利用微粒子顯像測速儀觀測混合腔體內部的流場,搭配 CFD-RC 軟體的模擬結果,了解液體在腔體內三維渦流的形成狀況及 物理機制。此外,透過高速流體攝影系統與螢光樣品實驗,了解混合效率。

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