Abstract
本碩士論文研究方向主要分為兩大部分，第一部分為研發表面聲波元件以偵測胺類氣體，主要是以金屬紫質系列的氯化血紅素，當作表面聲波感測器的感測薄膜，吸附常見的臭味胺類氣體，結果顯示此種感測薄膜對胺類氣體有一定的選擇性；除此之外，利用IR及XPS測定氯化血紅素中央鐵金屬的配位吸附以及周圍酸根的酸鹼反應，了解感測薄膜和胺類氣體的吸附作用機制。 第二部分為研發超臨界二氧化碳法以去除乾式蝕刻及電漿灰化後的光阻殘餘物。首先利用XPS、SIMS及SEM觀察及鑑定殘餘物的結構，設計使用過氧化苯甲醯溶解於乙醯丙酮之中，加入催化劑三乙胺，再注入超臨界二氧化碳之中，於60℃及80℃水浴中，清洗光阻殘餘物。結果顯示，藉由超臨界流體溶解反應物並帶入樣品中，利用過氧化物氧化降解高分子的機制，可有效地去除矽層上的高分子光阻殘餘物。