Abstract
在微波介電材料中，Ba(Mg1/3Ta2/3)O3（簡稱BMT）是具有非常高Q值或Q×f0值者， 但缺點是緻密化所需燒結溫度太高(＞1600℃)及時間太長。本研究以三種製程方法（添加 釔離子、二階段法、微波燒結法）來合成高活性之粉末，或改變熱傳機構，藉以降低BMT 之燒結溫度，縮短燒結時間。 添加釔離子，可使原本必須在1600℃以上才能燒結的BMT陶瓷，降低其燒結溫度。當 添加量x＝6%時，1450℃燒結可得94.8%的相對密度。1600℃燒結溫度下，BMT陶瓷於添加 量x＝6%時Q值較高，序化值亦於在x＝6%時達飽合。介電常數(K)和密度隨釔添加量增加而 升高，於1600℃，x＝6%，K約25。共振頻率溫度係數(τf＝8.68ppm/℃)則比純BMT稍高。 二階段法合成的粉末較傳統固態法的粉末活性大，於900℃即可合成單相BMT。二階段 法合成的粉末，亦有良好的燒結性，於1500℃燒結溫度，可得到95.5%的理論密度。同樣 地，二階段法在1450℃以上可得K＝25的BMT陶瓷，與傳統固態法（1650℃/4hr燒結）所製 備BMT(K＝24)，相差不大。1550℃燒結的二階段法BMT，擁有高Q×f0值□600000，且有不 錯共振頻率溫度係數值(7.5ppm/℃)。 利用新穎的燒結技術──微波燒結，來燒結微波介電陶瓷，唯因BMT的低正切損失 (tanδ)可能不易燒結BMT，但在提高微波頻率與輸入功率後，熱能分佈均勻顯見是得到優 良的微波介電陶瓷的關鍵。我們成功地於1400℃微波燒結BMT，不同於傳統方法1600℃製 造的BMT陶瓷。