Abstract
本論文探討不同之濺鍍條件對銅膜在熱循環中的熱應力行為影響。實驗中 的銅膜是以直流濺鍍法製備，並以可加熱之彎柄儀量測應力大小。結果顯 示，在以工作氣壓為變數的情形下，由電漿顏色的觀察可知，當電漿顏色 呈棕色時是較好的鍍膜條件，偏綠或偏藍會有成膜不易或經過熱循環後脫 膜的現象，故此為較差的鍍膜條件。工作氣壓明顯影響銅膜在室溫下之殘 留應力大小。剛鍍好之銅膜在室溫下之殘留應力為張應力，且其會隨著工 作氣壓之增加而減小，經過退火後，在室溫下之殘留應力亦會隨著工作氣 壓的增加而減小。越高的工作氣壓下製備的銅膜，其熱機械性質愈弱。鍍 膜時之基材溫度亦明顯影響銅膜殘留應力之大小。在較高溫下鍍膜，可使 銅膜在室溫時呈現較小許多的殘留應力，或對製程有益。