Abstract
摘 要本論文，首先提出一種新型複層式保護膜結構，其特點為：以真空蒸鍍法，在原保護膜上，鍍覆上第二層保護膜，以提高元件壽命，並搭配不同的薄膜材料與厚度，尋求其最佳結構，以進一步提高元件壽命。本研究中，所使用的保護膜材料，分別為：CaO、BaO與SiO2。依保護膜結構不同，針對單層保護膜與雙層保護膜結構分別探討。一、單層保護膜研究結果顯示，當使用單層保護膜結構時，元件覆蓋上BaO保護膜，元件壽命最大增加4.5倍；覆蓋CaO保護膜的元件，壽命增加3.5倍。二、雙層保護膜另外，當元件使用複層式保護膜結構時，以800A BaO及2000A CaO作為元件保護膜，元件發光壽命提升可達10倍的效果；使用1200A BaO及200A SiO2時，可提高元件發光壽命達6倍；使用800A CaO及200A SiO2時，可提高元件發光壽命5.5倍。研究結果顯示，使用複層式保護膜結構時，其效果較單層結構有所提升，元件發光壽命皆有增加。其中，使用800A BaO及2000A CaO作為元件保護膜時，效果最為優異，可提升元件發光壽命10倍之多。