Abstract
本論文，採用金屬氧化物和金屬材料作為保護膜，並提出一種新型三層式保護膜結構，以真空蒸鍍法，在發光元件上鍍覆金屬氧化物和金屬薄膜，利用其緻密且穩定之性質，有效隔絕大氣中水氣與氧氣對元件的攻擊，提高元件壽命；探討不同保護膜結構與厚度，對有機電致發光元件壽命之影響，並尋求最佳保護膜結構，以進一步提升元件發光壽命。 本研究中，所使用的保護膜材料，分別為：CaO、BaO與Al。依不同保護膜結構及厚度，分別探討對元件發光壽命之影響。 1. 單層保護膜 研究結果顯示，當使用單層保護膜結構時，元件覆蓋上BaO保護膜3000Å，元件壽命由未覆蓋保護膜的4分鐘，增加5.2倍至21分鐘；覆蓋CaO保護膜1000Å的元件，壽命為14分鐘，增加至3.5倍。 2. 雙層保護膜 當元件使用雙層保護膜結構時，以BaO(3000Å)╱Al(1000Å)作為元件保護膜，元件發光壽命可達44分鐘，相對於未保護之元件，壽命提升至11倍；保護膜結構為CaO(1000Å)╱Al(1000Å)時，壽命為15分鐘，與覆蓋單層CaO(1000Å)保護膜之元件比較，其壽命增加效果並不顯著。 3. 三層保護膜 當元件使用三層式保護膜結構時，以BaO(3000Å)/Al(1000Å) / BaO(3000Å)作為元件保護膜，元件發光壽命為81分鐘，相對於未保護之元件，壽命提升達20倍；使用BaO(3000Å)/Al(1000Å) / CaO (4000Å)作為元件保護膜時，元件發光壽命為86分鐘，提升達21.5倍的效果。 研究結果顯示，使用Al薄膜做為元件外部保護層時，其緻密、穩定之特性，可以使元件發光壽命有效提升；以金屬氧化物及金屬作為元件保護膜材料時，經過適當之搭配，形成三層保護膜結構，能夠更有效防止水氣與氧氣對元件造成的損壞，其元件發光壽命，皆較單層及雙層結構有所提升。