Abstract
本研究目的為建立變壓器耦合式電漿源系統，使用實驗室自行研發的低頻功率源，頻率操作範圍為15-250 kHz，目前已經成功設計出最大功率可達1-2 kW，電漿密度在1012-1013 cm-3的高密度電漿源。使用電路量測方法，量測電漿的電壓電流訊號，使用Pspice軟體來進行電漿的電路模擬分析，成功建立電漿等效電路模型。針對氬氣與氮氣兩種不同氣體，由Langmuir probe量測結果與Pspice模擬比較來討論各自的電漿特性。
- Title
- 變壓器耦合式電漿源特性量測與等效電路模擬分析
- Translated title
- 變壓器耦合式電漿源特性量測與等效電路模擬分析
- Creators
- 林剛毅 (Author)
- Contributors
- 寇崇善 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2012
- Language
- English