Abstract
本研究利用真空蒸鍍聚合法(Vapor Deposition Polymerization)研製不同單體化學計量比之6FDA-ODA聚亞醯胺超薄膜，並探討其熱機械性質，藉以選擇最佳的鍍膜條件，進而探討厚度對其熱機械性質的影響。 在製備超薄聚亞醯胺薄膜上，其做法是在真空狀態下將均苯二酸酐(6F-dianhydride，簡稱6FDA)，及二胺基二苯醚(4, 4' Oxydianiline，簡稱ODA)二單體分別加熱使其蒸發成氣態，同時沉積於矽基材上，以行聚合反應生成聚醯胺酸(Polyamic Acid, PAA)固態膜，在加熱使其亞醯胺化，形成聚亞醯胺薄膜。其中，以適當的單體沉積速率區間，控制單體化學計量比例﹔薄膜的厚度則是利用蒸鍍時間來控制。 超薄膜熱應力行為乃利用彎柄儀量測。實驗發現，單體化學計量比6FDA:ODA為1:1時，薄膜有最佳的熱機械強度﹔6FDA單體過量時，薄膜的熱機械強度稍微下降，但ODA單體過量則會造成相分離，並形成ODA結晶，嚴重影響薄膜的熱機械強度﹔以原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)觀察ODA單體過量之聚亞醯胺超薄膜表面微觀組織發現，其表面粗糙度較前兩者為大。