Abstract
本文所設計與研製的超音波平台是以PC-Base為基礎，配合模糊類神經網路控制器，使超音波平台系統能在順暢且穩定的情況下運動。此平台是使用本研究室自行研發的薄盤式超音波致動器來做為驅動裝置，除了可避免電磁波干擾，更具有構造簡單、價格低廉及結構輕薄短小等優點，可廣泛應用於各種場合。平台的機械裝置則是使用本實驗室所設計的超音波平台機構，來做為定位系統的實驗裝置；至於量測系統方面，選用上銀科技所開發的磁性感測系統(解析度為5.0 um)和仲成公司的AD / DA伺服控制介面卡，透過PC完成整個系統的實驗架構。由於機械系統普遍存在不動帶和遲滯現象，此非線性現象勢必增加系統在分析與控制的難度，因此本文藉由使用兩組驅動裝置以改善機械系統的非線性現象；另外控制器的設計上，則使用模糊類神經控制器，以解決機械系統數學模型難以取得的問題。由實驗結果得知本文所提出的雙驅動裝置和模糊類神經控制器的設計，能使平台達到1.25 um的定位精度。關鍵詞：超音波平台、模糊類神經控制器。