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超音波氣浮系統之特性研究
Thesis

超音波氣浮系統之特性研究

巫震華
Masters, National Tsing Hua University
2000

Abstract

超音波振動氣浮
本研究以藍杰文型振動子擾動空氣,形成輻射壓力場,以使浮體浮起,而達平衡位置的原理構成一超音波氣浮系統,證實單位面積重量0.210 gw/cm2的浮體與振動子間有 60μm?120μm的間距產生。當輸入功率100.8 W時,浮起物體單位面積重量可達26.7 gw/cm2。利用ANSYS模擬振動子簡單、快速求解其共振頻率為27.70 kHz時的主要振動模態為厚度方向振動與徑向振動的複合振動模態。以比例-積分控制器(KP = 0.051, KI = 0.014)精確控制浮體浮起高度準位,證實氣浮系統的可控性,也證實了Ziegler-Nichols的程序反應曲線法有其參考性。

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