Abstract
超音波馬達是受各界廣為研究的新型致動器之一，具有非常優越之性能如低轉速高轉矩、結構簡單、沒有電磁干擾的問題…等。馬達驅動源由壓電元件構成，因其壓電特性使其具有機械-電能相互轉換的現象，當輸入高頻交變訊號壓電元件產生超音波振動，藉由摩擦力的傳遞將能量轉換成轉子的動能。 本論文藉由碳粉顯影觀測壓電片之超音波振動模態，進而依波動方程式推導出其運動模式；藉由壓電片具正壓電效應觀測其共振頻率之響應情形，做為設計馬達初步的概念，而以此理論基礎對馬達原型機設計製作過程及其所量測之運轉特性做一系列探討。 等效電路推導藉由鑑別馬達定子兩端之電壓、電流間相互關係，以其動態轉移函數做為參考依據，並加入正壓電效應因素建立此馬達等效電路模型。本實驗之馬達架構並非最佳設計，但對於實驗分析時所提出之論點，希望能對後續研究做為一參考依據。