Abstract
由本論文實驗所製得之輻射感測器具有以下數項特色:1.製作程序簡單;2.具有工作在低電壓之能力。對於有關偵測理論,如LSS理論(即離子佈植所用之理論)等亦有概要之描述。此外,上述所提之特色2.亦可用電場擴散效應(Field-funneling effect)棧君以解釋。以上種種均有論述於如后。在實驗部分,由於輻射感測器的各項要求相當不容易達到,因此在嘗試一些製作程序後,好不容易找到較佳之製作途製而做成輻射感測器。這些嘗試結果和最終果亦有論述之。此外,由電場擴散效應的解釋,一些量測的結果得以解釋。最後由於本實驗所採用之最後製程相當地容易、簡單,因此若外加些線路於上以製成智慧(或聰明)型之感測器(sinout sensor )應不是件難事才對。