Abstract
近幾年來，許多不同的金屬與鋁在砷化鎵晶片上形成的蕭基接觸逐漸被重視與研究，歸因於此種二元素系統與砷化鎵間蕭基接觸之穩定性良好及較高之蕭基能障之出現；而高蕭基能障對蕭基接觸之應用有很大的提升。由於砷化鎵積體電路的新制程，包含著攝氏八百五十度的退火步驟，故蕭基接觸在此高溫退火后必須保持其穩定性才能適用此種制程，不致破壞積體電路之性質。故本研究對鋁鈦系統在砷化鎵晶片上形成的蕭基接觸，在不同的退火溫度處理后，觀察其結構與電性之變化，以研究此種材料是否具有較高之蕭基能障及是否適於新制程。研究結果發現，當退火在攝氏五百度進行十秒后，蕭基能障提高至零點九電子伏特，由愛克斯光繞射分析發現，此應與砷化鋁化合物在鍍膜與砷鎵的界面的出現有關。若退火在鑷氏六百度進行十秒后，蕭基能障降低至零點七八電子伏特，不過此時理想因子仍保持在一點二二左右，顯示電性在此時尚未完全退化。由愛克斯光繞射分析、及拉塞福背向散射實驗結果發現，此蕭基接觸之結構在七百度退火后仍保持穩定，只有穩定相砷化鋁及鋁化鈦存在；但當退火溫度升至七百五十度進行十秒后，由電性測量發現理想因子升至一點六以上，而由結構分析發現砷的向外擴散及砷化鈦的形成，及由掃描式電子顯微鏡觀察試片表面發現退化之情形發生，顯示其電性及結構皆有退化之傾向。