運用三維機械耦合陣列之CMOS-MEMS共振器與振盪器研製

Thesis

運用三維機械耦合陣列之CMOS-MEMS共振器與振盪器研製

周晉宇

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

三維耦合陣列

垂直耦合共振器

電容式元件

微機械共振器

CMOS-MEMS 振盪器

3-D coupled array

Vertical Couple

Capacitive

Micromechanical Resonators

CMOS-MEMS Oscillators

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Details

Title: 運用三維機械耦合陣列之CMOS-MEMS共振器與振盪器研製
Translated title: 運用三維機械耦合陣列之CMOS-MEMS共振器與振盪器研製
Creators: 周晉宇
Contributors: 李昇憲 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017