Abstract
過渡金屬矽化物包括矽化鐵（FeSi□）、矽化鋯（ZrSi□）、矽化鉻（CrSi□）和矽化釩（ VSi□）已經成功地在矽單晶上成長磊晶，其結構和形成以電子顯微鏡（TEM）和歐傑電子光譜（Auger Electron Spectroscopy ）分析。各種方法包括氫氟酸滴除，非晶質矽護層，真空退火，二段式退火，離子束混合法，夾層效果，基座加熱用以促進磊晶之成長，這些方法之效果和機構都加以探討。磊晶之一般理論有所說明，十三種磊晶金屬矽化物也作了總整理，磊晶關係和原子排列亦已提出。磊晶金屬矽化物之應用極具價值，未來研究發展方向之展望也提出加以介紹。