Abstract
本研究針對半導體晶圓針測區之現場排程問題, 在人機互動式的排程架構之下, 提出一參數化派工法則, 此派工法則能在人員設定所關心並期望達成之排程目標後, 藉由人員主觀地調整派工參數, 而得到接近目標之排程; 此外, 我們亦提出一以遺傳演算法為基礎之派工參數搜尋機制, 來解決排程人員在調整派工參數之困難與費時。我們稱前者人員主觀調整派工參數之排程系統為 "人員為主之互動式電腦輔助排程系統", 我們簡稱稱人員式排程系統; 而後者則稱為 "遺傳演算法為主之互動式電腦輔助排程系統", 簡稱遺傳式排程系統。在所開發之遺傳式排程系統中, 主要包含晶圓針測製造系統之模擬機制、針對晶圓針測排程問題而設計之參數化派工法則與以遺傳演算法為基礎之自動搜尋模組等三個元件。我們將此一排程系統構建在一實際的晶圓針測生產線上, 並評估此一排程系統之效能。在評估遺傳式排程系統之效能時, 我們分別從兩方面來進行。第一、我們比較人員式排程系統與人工排程所得之排程績效; 第二、我們比較人員式排程系統與遺傳式排程系統所得之排程績效。前者, 我們發現兩者間各項績效十分接近, 顯示參數化派工法則可達到模仿人工排程之目的; 後者則發現遺傳式排程系統搜尋所得之排程績效大部分皆優於人員式排程系統,在搜尋速度上, 又節省了手動調整參數所花費的時間。