Abstract
重複性圖形(repeated pattern)影像之缺陷檢測為機械視覺領域中一項極有商業應用價值之研究題目,應用於液晶顯示器面板及晶圓表面瑕疵之檢測上,能有效降低生產成本與改善產品之良率,本研究以液晶顯示器面板之影像為對象進行研究,發現既有之頻域濾波技術檢測技術中,對於檢測結果中缺陷區域發生邊緣失真及模糊之現象,同時其演算法運算量需求過大,不利於應用在實際的工業檢測中。 針對上述之問題,本研究經由對重複性圖形與缺陷的完整頻譜分析後,設計特殊的頻域濾波遮罩,此遮罩的頻域濾波範圍與既有技術比較,在頻譜上中高頻帶的處理更為細膩,成功地改善了既有技術上缺陷區域的邊緣失真及模糊的問題。 此外,為了配合工業上缺陷檢測的高速需求,藉由空間濾波器的設計與搭配來產生所需的頻帶濾波效果,在檢測能力與速度的需求與平衡之下,完成了一套低運算量的頻域檢測技術實現方法。