- Title
- 金薄膜與矽晶界面反應以及極大型積體電路金屬化材料問題研究
- Translated title
- 金薄膜與矽晶界面反應以及極大型積體電路金屬化材料問題研究
- Creators
- 陳志榮 (Author)
- Contributors
- 陳力俊 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English
Thesis
金薄膜與矽晶界面反應以及極大型積體電路金屬化材料問題研究
Masters, National Tsing Hua University
1997
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