Abstract
本論文介紹經由頻率為2.45GHz之微波進行微波燒結製程，製作具有高密度及結構均勻的釔鐵柘榴石(Y3Fe5O12，YIG)。利用Fe2O3－Y2O3 (1200℃煆燒)，Fe2O3－YFeO3兩種為原始粉末製作Y3Fe5O12，並以傳統燒結製程為比較，以深入瞭解微波燒結與傳統燒結製程之間的差異。利用微波燒結與傳統燒結速度的不同，求取二者的燒結活化能，並證實利用微波燒結能夠在較短的時間、較低溫度達到燒結的目的。對微波燒結的試片(1280℃、1300℃，20 mins)，量測其平坦度(Ra)及品質因數(Q值)，並觀察Q值與平坦度的關係。