Abstract
在紅外線感測器材料中，Ba1-xSrxTiO3是一個非常具有發展潛力的材料，其焦電特性、高介電常以及具有在室溫範圍的居里溫度，極適用於遠紅外線感測器中，為了降低材料厚度以增加感測度，本研究採用濺鍍製程製備Ba1-xSrxTiO3薄膜，並探討製程、微結構以及Ba1-xSrxTiO3薄膜的介電及焦電性質。在製程中，高基材溫度、高鍍膜功率、濺鍍氣體中氧氣比例的增加以及基板負偏壓，皆可增加Ba1-xSrxTiO3薄膜的結晶度，此外，氧氣比例的增加以及基板負偏壓會促使（110）優選方向的產生。在電性上，Ba1-xSrxTiO3薄膜具有對頻率的響應，而從介電常數隨溫度的變化，可知其居里溫度約在4~8℃，此外，其介電常數在高鍍膜功率與量測偏壓0.1V下有最大的值，而在基板加約65V負偏壓可得到最大的焦電係數值。