Abstract
本論文是在大氣中利用接觸式原子力顯微儀AFM之導電探針在平坦鈮(Nb)薄膜上製造奈米級氧化層，研究在鈮薄膜上製造氧化直線，和氧化點。我們分別改變施加的直流電壓大小，探針掃描速度，探針接觸力，及空氣濕度的實驗，觀察它們對於氧化物形成有何影響，以了解其生成的氧化機制。並使用目前有關此機制的理論計算及分析，對我們實驗數據作個探討。我們也試著利用施加方波脈衝方式，移去空間電荷，可以提高氧化物的解析度。此外，我們試著製作氧化物結構。其一是利用方波脈衝製造點陣，其二是在預製的電橋上製造金屬-絕緣-金屬的平面二極體，得到此元件基本特性的初步結果。