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鉑矽化物之生長研究
Thesis

鉑矽化物之生長研究

林明邦
Masters, National Tsing Hua University
1983

Abstract

鉑矽化物超大型積體電路積體電路紅外線偵測器結晶材料科學物理 VLSIMATERIALS-SCIENCEPHYSICS
由於超大型積體電路的發展,鉑矽化物的應用日趨重要,近來由於紅外線偵測器的發展,尋求滿足不被大氣所吸收的紅外光波長的能障,而鉑矽化物恰合乎此條件。為增加其效率,乃設計如何求得最佳之生長結晶性,亦即缺陷少,則所生的電洞被缺陷吸收少,而提高其效率,換言之,磊晶好則可提高效率,今又發現超結晶格,由於其完全緊密接合,將可更臻完美。

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