Abstract
本研究乃於真空中以電子槍方法蒸鍍金屬鉬薄膜於不同溫度的（100）和（111）矽晶片上。在氮爐中以各種溫度熱反應後，找尋其反應溫度和所形成的相。上述同樣的試片，在離子佈植後，亦做同樣的實驗，比較反應程序後，討論其差別之原因。不同厚度之鉬薄膜在紅外線熱反應後，亦做相變化之探討。利用穿透式電子顯微鏡、Ｘ–光和凡得普電阻測量來研究各種矽化物的形成和特性。
- Title
- 鉬矽化物之研究
- Translated title
- 鉬矽化物之研究
- Creators
- 姚亮吉 (Author)
- Contributors
- 凌北卿羅正忠 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English