Abstract
在本論文中，利用阻值1-10 ?-cm的P型矽基板經由銀蝕刻技術製作改良式柵欄結構太陽能電池。接著我們提出俱備未來潛力的太陽能電池表面鈍化方式，分別是利用電漿輔助化學氣相沈積系統沉積氫化非晶矽薄膜與氮化矽薄膜的堆疊層。然而其詳細的鈍化機制將在本論文中做深入探討。為了防止氫化非晶矽薄膜中的氫逸散，我們在其上面加了一層二氧化矽層做為阻擋層防止氫化非晶矽薄膜中的氫含量減少。因此本論文中將分別以雙層鈍化層(氫化非晶矽層/氮化矽層)以及三層鈍化層(氫化非晶矽層/二氧化矽層/氮化矽層)做研究比較與分析。在單晶矽太陽能電池的效率量測方面，藉由雙層鈍化層(氫化非晶矽層/氮化矽層)與三層鈍化層(氫化非晶矽層/二氧化矽層/氮化矽層)所量測得的效率分別為10.7%以及9.8% 。藉由相同鈍化機制應用在多晶矽太陽能電池上，效率上分別可量測得7.0%以及6.4% 。