Abstract
本實驗在銅薄膜與矽基材之間，鍍上一層氮化鈦或鎢化鈦薄膜，做為擴散阻擋層（Diffusion行為 Barrier），探討有擴 散阻擋層與無擴散阻擋層時，銅膜熱應力之差異。實驗中薄膜以濺鍍法製備，應力量測儀器則為彎柄儀（Bending Beam Apparatus）。研究中我們先了解銅膜、氮化鈦膜與鎢化鈦膜在矽基材上之應力行為，接著製備三層結構以探討銅膜之應力行為。結果我們發現有擴散阻擋層與無擴散阻擋層時，銅膜之應力行為不同。在有擴散阻擋層時，銅膜初鍍成時呈現壓應力，若直接鍍在矽基材上則呈現張應力；另外銅膜直接鍍在矽基材上進行退火，銅膜之機械性質會變弱，在銅膜與矽基材間鍍一層擴散阻擋層時，銅膜會有較強之熱機械性質，並能承受較大之熱應力變化。