Logo image
鋁╱P-型多晶鑽石膜蕭基接面電性可靠性研究
Thesis

鋁╱P-型多晶鑽石膜蕭基接面電性可靠性研究

郭文暉
Masters, National Tsing Hua University
1995

Abstract

材料科學物理多晶鑽石膜蕭基正偏壓負偏壓遲滯曲線現象 MATERIALS-SCIENCEPHYSICS
鋁╱P-型多晶鑽石膜蕭基接點在電壓來回掃瞄(正偏壓至負偏壓、再從負偏壓至正偏壓)時,產生一特有的遲滯曲線(HYSTERESIS LOOP)。在改變電壓下,需數十秒才能達穩定狀態(STEADY STATE)。這將嚴重影響鑽石膜電子元件應用。本論文利用電流-電壓-溫度、接面電容(JUNCTION CAPACITANCE)量測技術分析鋁╱P型多晶鑽石膜蕭基接點行為,並提出一高能階深層能階模型以解釋遲滯曲線現象。

Metrics

1 Record Views

Details

Logo image