Abstract
本文的目的，主要在敘述電子引發鋁合金、不□鋼與無氧銅(OFHC copper) 表面釋氣的研究結果。實驗過程同時包括建立超高真空系統與俄歇電子能譜儀(Auger electr-on spectrometer, AES) 。實驗時系統真空度為7×10 torr, 而研製的俄歇電子能亦儀，可以藉著微分能譜清楚地分析表面元素。在電子引發釋氣實驗中，發現鋁合金、不□鋼和無氧銅的主要釋氣為H 、CO、CH 與CO 等幾種氣體，同時也發現質量數為28的譜線，除了CO外也有N 的貢獻。由AES 分析，試片表面確實有N 的訊號。入射電子能量在200eV?2 KeV範圍所引發的釋氣率η對三種試片都是ηH 〉ηCO/N 〉ηCH 〉ηCO 而且三種試片釋氣率的數量級皆相同, 用AES 分析發現表面的C,O 訊號非常大，氧以氧化物存在表面，碳以石墨態存在表面。由於試片加溫對表面有清潔作用，所以烘烤後氫的釋氣率降低3 倍，CO的釋氣率下降5 倍，而鋁試片CO的釋氣率更下降30倍。電子撞擊試片引發釋氣的原因有熱效應和量子效應兩種，實驗發現所使用的電流密度，熱效應並不明顯，用理論諸表面溫度上升不超過3℃,造成釋氣的主因是量子效應。實驗結果也發現當入射電子能量較高時，電子引發釋氣的貢獻主要來自一次電子(primary electron); 而釋氣率會隨入射電子束角度增加而上升的原因，可能來自二次電子(secondary electron)的貢獻。當電子連續撞撞擊試片時，對表面有清潔的作用，以AES 分析，當電子累積量達10 e/cm 時，C 元素訊號強度下降 10%。