Abstract
本實驗探討了鋁合金材料表面，暴露水氣後其狀態的差異性。實驗中，以重水氣體(D2O)與輕水氣體(H2O)對表面進行暴露，並利用高靈敏度的SIMS方法分析表面之差異性。初步結果證實可利用氘與氫的差異性辨認出表面吸附的D2O二次離子訊號。在負離子質譜中，實驗初步判定以D2O暴露時質量數l8與45處為OD-與AlOD-之訊號，此二訊號應可以用來探討D2O水氣暴露之情形。 實驗中亦進行了臭氧水清洗效果之探討，結果發現臭氧水處理對於表面有清洗效果，特別是針對殘留化學藥劑與碳氫化合物分別有將近10倍與3倍的清洗效果。但若再暴露於大氣一個月後，其表面會再度發現碳氫化合物等污染物。