Abstract
本實驗以輝光放電方法研究對鋁合金與不凄鋼真空容器的清洗放電清洗效果。實驗系統所用鋁合金與不凄鋼真空容器經過焊接、組裝，化學清洗及加熱烘烤處理后，真空都可達超高真空範圍(10 torr)。實驗前曾比較Ar氣體在不同的氣壓下的放電條件，最后選擇3.5 10 torr氣壓，放電電壓小於500 伏特為放電條件，會產生穩定的輝光放電。而實驗時為了所引發的表面釋氣量，能有效地被量測分析或排出，系統中所有的小孔(orifice) 口徑皆仔細設計，以維持系統中有“新鮮”的放電氣體和穩定的放電氣壓。為了解鋁合金和不凄鋼超高真空容器輝光放電清洗時的引發釋氣，兩種容器都以相同的實驗條件（烘烤時間、放電氣壓等）和Ar H H 放電步驟，其結果可歸納如下：1.Ar氣體放電實驗時, 對兩種容器中的氫氣及含碳元素的氣體分子CH,CO/N CO 等都有明顯的氣壓上升, 表示有清洗效果。但Ar也會沉積材料內部，造成以后的釋氣來源。2.N 氣體放電實驗, 對於材料內部沉積的清洗效果, 鋁合金比不凄鋼容器的釋系數nAr高約9 倍, 其原因可能和二種材料表面的差異有關。此外，N 氣體放電時, 亦會造成N 氣體的沉積。3.H 氣體放電實驗時, 因材料已經經過Ar及N 輝光放電，所以未發現明顯的氣壓上升。4.鋁合金容器經H 放電后，容器不經烘烤處理，再以N 氣體進行輝光放電清洗，除了氫氣明顯的上升外，亦發現屬於水氣成份的氣壓明顯的上升。其原因可能是在N 放電環境下，沉積的H 與氧化層中的氧化作用，但仍待進一步證實。