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鋁合金表面水釋氣之研究
Thesis

鋁合金表面水釋氣之研究

陳志敬
Masters, National Tsing Hua University
1999

Abstract

二次離子質譜分析深度分析 SIMSdepth profileoutgassing rate
本實驗在探討鋁合金材料表面在曝露水氣之後,以SIMS分析覆蓋於表面之水氣在真空中隨時間變化之情形,同時以理論估算表面覆蓋度對抽氣時間之關係以與實驗值相比較。實驗中也進行了不同水氣溼度曝露條件下,水氣訊號與水氣溼度之關係;關於絕熱膨脹的探討方面,分別由SIMS表面分析與深度分析兩方面來探討。另外,由於本實驗數據上所顯示出一些跳動值,故在誤差分析上也有進行討論。

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