Abstract
不□鋼傳統上一直是建造超高真空系統最常採用的材料，而鋁合金早期不被認為是超高真空的材料，但由於近年來對鋁合金的研究與發展，加上鋁本身具有的優點，使鋁合金的應用日漸廣泛，成為一種新興的超高真空材料。鋁合金的許多真空性質尚有待研究與發展，各種數據仍有待提供。本文測量了充入不同溼度的氮氣後對鋁合金釋氣率的影響和變化情形，並描述了鋁合金在釋氣過程中的各種作用。本文採用流量法(throughput method) 來測量鋁合金的釋氣率。實驗過程中控制了溫度及溼度以使符合實驗條件。經由釋氣率對時間的關係曲線，以及殘余氣體分析數據、氣壓增建(build-up)曲線，描述了鋁合金在充入氮氣溼度大時，釋氣作用主要是表面釋放(desorption)，而充入氮氣濕度小時為擴散作用(diffusion) ，理想的描述應為兩種作用混合的模型。關於表面釋放及擴散，文中也有初步簡介。經由露點計所得溼度數據，以及鋁合金的釋氣情況，發現鋁合金的釋氣率( 以抽氣後10小時來比較 )隨充入氮氣溼度的減少而降低，顯示水氣對鋁合金材料而言是一大問題。釋氣率為建造超高真空系統時必須考慮的重要因素，因其決定了系統所能達到的最低氣壓。利用鋁合金和不□鋼的特性，可互相取長補短，而實際上現階段全鋁合金超真空系統尚未普遍，許多問題仍有待瞭解和克服。#50008884.abs#50008884.abs