Abstract
利用穿透式電子顯微鏡，觀察電子槍真空蒸鍍矽─鋁─矽薄膜系統中，無晶形矽在低於共晶溫度退火之固相結晶反應。結果顯示150℃ 開始即有明顯的結晶反應，反應開始所需之時間與exp(1╱T) 成正比，反應之活化能約為1.0ev 。矽─鋁─矽系統中，鋁鏌厚度之不同，除了改變結晶溫度，矽晶粒之大小外，同時亦顯出不同之結晶反應。
- Title
- 鋁－矽薄膜系統中無定形矽之低溫結晶現像
- Translated title
- 鋁－矽薄膜系統中無定形矽之低溫結晶現像
- Creators
- 焦一虹 (Author)
- Contributors
- 周安琪 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English