Abstract
近年來，由於固態微波元件及半導體技術的快速發展與進步，使得許多各種小規模的應用，也獲得急速地開發和大量的使用。例如：汽車、飛機、船舶上所使用的無線電話及通信系統，個人行動電話，偵測物體運動速率的測速器，做為不同各種用途用的遙控器……..等，均已大量使用射頻及微波頻段的電磁波為信號。 而傳遞電磁波訊號時，由於各種的因素如：傳輸線的設計，材料的選擇……等，皆會影響到電磁波的損耗，以及我們接收到電磁波的強弱。本實驗即欲建之有效而簡便的程序，期望能夠準確的量測到不同材料下，在微波頻段(1GHz-40GHz)的金屬膜損耗，進而換算成微波頻段下的電導率。 由於鋁膜在直流下的導電率高，應用廣，及易加工的性質。所以我們先以鋁膜，以半導體製程及陰影遮罩(Shadow Mask)(見第4章)的方法，製作不同型式諸如：直線型、環型、和T型的微帶共振腔，再以網路分析儀(network analyzer)測量鋁膜的損耗及比較測量上之優劣，並從中量測不同溫度下的變化。比較結果為25GHz內，以T型共振腔效果最佳。