Abstract
以二極濺鍍系統鍍鉭，以電子槍蒸鍍系統鍍金及鋁，分別做成鋁鉭、鉭、鋁鉭鋁、金鉭、金鉭金之穿透式、掃描式電子顯微鏡之試片及X-ray 試片，以此工具分析之。結果如下：1.鉭膜不為B.C.C. F.C.C亦不為β之結構。2.鋁鉭在470℃ 以上退火處理，沿晶界有TaAl3 的形成。3.鋁鉭反應過程：Ta(imperfect crystalline)+Al 470℃ Ta(crysalline)+Al →TaAl3 550℃ TaAl3+Ta2 Al?Ta3Al4.鋁鉭鋁系統中，上層鋁厚度有影響鉭能譜後退之趨勢。5.金鉭400℃ 以上退火處理有TaAu的形成，亦有TaAu或Ta3Au 形成，600℃ 以上有δ-TaO及β-Ta205的形成，而TaAu及Ta2Au 或Ta3Au 仍然存在。