Abstract
現今操作記憶體的讀寫都是輸進以方波為主的時序脈波，和一般大家實驗得到鐵電材料極化值是以輸進三角波為主有所不同。因此本文的研究偏向於使用這兩種形式脈波，在Pt/PZT/Pt鐵電薄膜電容量測其極化值以及比較。 結果顯示輸進方波量得的極化值較三角波還大，這是因為處於最高電壓的脈衝寬度不同以及脈衝延遲兩個因素的影響。此外方波量測得到的電滯曲線與三角波量測得到的電滯曲線比較起來，在飽和極化值的地方會交叉也是受到脈衝延遲的影響造成殘留極化值下降所致。 使用Sawyer Tower Mode電路量測極化值會受到電位分佈的影響，但是當使用的參考電容愈大時，愈能比Virtual Ground Mode電路更接近真實的極化值。 反轉時間會和電路中電阻電容的改變呈線性關係，若不考慮儀器限定的因素，推測當元件面積縮小到10-8cm2時，鐵電電容量到的反轉時間最具潛力可達0.21nsec。