錫團簇合成及開發並應用於極紫外光光阻

Thesis

錫團簇合成及開發並應用於極紫外光光阻

吳新怡

Masters, 國立清華大學, 化學系所

2017

Abstract

光阻材料

極紫外光

半導體光阻

錫團簇

Tin

Clusters

Extreme

Ultraviolet

Photoresists

EUV

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Details

Title: 錫團簇合成及開發並應用於極紫外光光阻
Translated title: 錫團簇合成及開發並應用於極紫外光光阻
Creators: 吳新怡
Contributors: 劉瑞雄 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 化學系所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 化學系所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2018