Abstract
本篇論文中，主要是利用Ge離子佈植在融熔石英(fused silica)玻璃基板上形成平面波導，並應用準相位匹配原理(QPM)在波導中產生二次諧波(SHG)倍頻光。我們在清華大學加速器中心，利用加速器佈植Ge（劑量＝10 ions/cm ，能量＝5MeV）到融熔石英中，在表面形成一層平面波導，同時利用光譜及prism coupler做波導的分析，並量測波導模態有效折射係數和等效深度，與SRIM軟體模擬作相互驗證。再利用本實驗室的thermal poling技術，針對不同thermal poling condition 在波導內產生二階非線性光學係數，並透過Maker fringe系統量測二階非線性強度，證實了Ge 佈植後將有助於二階非線性強度的增加。最後配合週期性UV erase的技術達到準相位匹配（Quasi-Phase Match，QPM），成功的做出經由平面波導轉換二倍頻光之倍頻元件，將波長1064nm的Nd:YAG pulse雷射光，轉換得到波長532nm的綠光。