Abstract
本研究利用濺鍍系統製備四種鎢鋁合金薄膜於n-GaAs上,經過 500度到1000度快速退火處理後,分析之蕭基界面之結構及電性.以 X光繞射分析,歐傑電子能譜成份縱深曲線分析,掃描式電子顯微鏡,穿透式電子顯微鏡等,分析界面微結構及表面形態.量測薄膜電阻係數,並製作蕭基二極體測量蕭基能障及理想因子.結構分析顯示 W含量較高的薄膜,有較佳的化學穩定性,而Al含量較高的薄膜,有較平整的表面形態.電阻分析結果顯示,Al含量較高的薄膜,電阻係偏高.電流電壓特性曲線分析結果顯示,W含量較高的接面,能維持到較高溫度而電性不致惡化,而Al含量較高的接面,則有驕高的蕭基能障.