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鐵氟龍表面之電漿處理與分析
Thesis

鐵氟龍表面之電漿處理與分析

王志偉
Masters, National Tsing Hua University
2004

Abstract

表面改質電漿離子佈值鐵氟龍表面能 surface modificationPIIITeflonPTFEsurface energyESCAICPplasma
Teflon為碳氟結構極為完整的長鍊高分子聚合物,具有良好的化學性質(抗強酸、強鹼)、電氣性質(電極絕緣、高頻基板材料),以及易加工等特性,在工業上的用途很廣。但由於碳氟鍵結很強,使得表面呈疏水性,不易與其他材料接合,若加以表面改質能夠更廣泛的使用於生醫、化工、材料等用途。 PIII表面改質技術使用負偏壓加速電漿內的正離子轟擊試片表面,造成表面鍵結的斷裂而形成碳的懸鍵,暴露在大氣中,不穩定的懸鍵和氧分子加以反應,鍵結成親水的官能基(C=O),水滴角量測由103o降到60o附近。但由於PIII的機制對斷鍵發生較無選擇性,容易在表面產生短鍊結構。 將處理完的試片經過丙酮清洗,去除表面的短鍊分子可以發現其組成主要為C=O的鍵結,但對於物質表面的特性則需進一步的探討。而去除短鍊分子的試片可以由ESCA表面分析看出稍深層的CF2鍵結,其親水性沒有太大的變化(水滴角量測仍為60度附近)。

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