Abstract
在1971年Kaneko Homma & Nakamura 首次公開聲明, 發現Fe-Cr-Co離相分解永磁合金以來, 在其塊料的研究方面, 歷年來都投下相當大的關注, 但是在其薄膜方面的性質, 卻甚少有文獻在這方面能有所報導, 因此本實驗想利用蒸鍍法製造Fe-Cr-Co薄膜,以了解其薄膜性質。使用鎢絲渦形線圈為直接加熱源, 蒸鍍Fe-30Cr-xCo(x=5.10.15.20.25.30) 等成份的薄膜, 然後分別進行熱處理, 以恆溫, 階梯式時效, 恆溫後連續冷卻, 等方式熱處理, 並以 SQUID和 VSM測量其磁性, X-光繞射和 TEM的觀察判斷其相與顯微組織, 並利用 SEM觀察以了解其表面狀況…等等。從吾人的結果可以得知, 要達到較高的Hc值, 需以恆溫後連續冷卻熱處理方式進行之, 以1000 厚的Fe-30Cr-30Co薄膜為例, 在 620℃30分鐘恆溫, 以25℃╱hr的冷卻速率, 冷卻到 520℃之熱處理條件下Hc可達 720Oe, Mr760emu╱cm,再者從 TEM的觀察, 當冷卻速率改變將使得其離相分解波長λ值, 也會改變, 就1000 厚的Fe-30Cr-25Co薄膜而言, 冷卻速率25℃╱hrλ=280, 33℃╱hrλ=240,50℃╱hrλ=150,100℃╱hrλ=120,另外依據理論了解, 其振幅也會有所改變, 冷卻速率較慢時可以得到較大的振幅。從膜厚的改變, 發現其Hc值和Mr值並沒有太大的改變, 以Fe-30Cr-30Co合金薄膜若將其厚度減為 500, 經上述同樣1000 膜厚試片的熱處理條件其Hc=740Oe,Mr=780emu╱cm,為經過熱處理後之薄膜, 薄膜應力有所消減, 且λ值小於膜厚之故。