開發用於微型發光二極體陣列面板之具緩衝結構靜電式轉移頭

Thesis

開發用於微型發光二極體陣列面板之具緩衝結構靜電式轉移頭

葉智翔

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

微機電系統

微型轉移頭陣列

微型發光二極體

靜電

MEMS

micro transfer head

micro LED

electrostatic

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Details

Title: 開發用於微型發光二極體陣列面板之具緩衝結構靜電式轉移頭
Translated title: 開發用於微型發光二極體陣列面板之具緩衝結構靜電式轉移頭
Creators: 葉智翔
Contributors: 方維倫 (Advisor)
陳榮順 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017