Abstract
本文之目的在研製雙層串聯式PZT致動器，而PZT成份的選擇為異相變形相界處之成份:Zr/Ti=52/48，製作方法為刮刀成形技術。論文探討之變數包括漿料配方、過量氧化鉛含量、單層 PZT燒成條件、雙層PZT與電極共燒條件等。文中除結晶相及微觀結構分析外，並作相關之電性測試。實驗結果顯示：添加過量PbO約5mol%於PZT中，再配合適當的氣氛粉末與坩堝裝置，利用液相燒結效果於1150℃ ~1325℃燒結時，密度可達95%以上。而與電極共燒方面；燒結流程中應儘量避免Pd電極的氧化程度且燒結試片上需加適當的荷重 (10g/cm2)及以ZrO2粉間隔試片，避免有機物燒除不完全和試片相互燒結的現象；若再配合適當厚度之網印電極，則共燒時造成之裂縫(crack)、脫層(delamination)、電極不連續 (discontinuation)等現象即可解決。至於PZT的壓電特性，結果顯示單層PZT的性質已達塊材(bulk)的一般要求，即已具實用性的價值。