Abstract
本文主旨在於分析由三種LIGA製程製作微噴嘴的優缺點；並製作兩款雙相流噴嘴，診斷其霧化特性。對於微噴嘴的霧化型式採用結合氣助式和壓力渦漩式結構特徵的霧化方式。且使用雷射都卜勒粒徑量測儀量測霧化後之流場結構、噴霧特性，分析不同的噴嘴集合參數，對噴嘴霧化特性所造成之影響，再與前人之研究做出比較。由三種製程所製作的渦漩腔，以X-ray LIGA製程具最高精密度，ICP LIGA最被廣泛應用，Injection molding LIGA製程加工深度最不受限制，且成本低，最具發展潛力。因此本文所製作的雙相流噴嘴採用的渦漩腔為Injection molding LIGA製程所製作。本文自行設計的二款雙相流噴嘴：一款為具中心空氣噴流結構之雙相流噴嘴與另一款為具外部渦漩空氣結構之雙相流噴嘴，此二款噴嘴皆能有效提高噴霧錐角，增加霧化能力，但以具外部渦漩空氣結構之雙相流噴嘴的霧化效果最佳，其最好的操作條件是在噴油壓力5 bar，空氣壓力3 bar。另一方面，具中心空氣噴流結構之雙相流噴嘴雖能穩定流場結構，但目前未能有最佳的霧化效果，在未來研究中將設計氣體噴孔大小提高霧化效果，並使中心空氣噴流具渦漩效應與液體作用提高霧化能力。