Abstract
表面分析所使用的工具之一－－離子散射能譜儀ISS(Ion Scattering Spechometer)中，散射離子能量的決定，可利用飛行計時技巧，度量離子於密閉真空系統中，經過一定長度距離所費的時間求得，以鑑定樣品表面元素的成份與含量。本文是關於整個系統的設立，利用了已有之積體電路組件，建立一套獨特的測量質點飛行時間系流以及訊號強度須檢系統，且以微算機自動化收集儲存資料，以應用在離子能量分析上。
- Title
- 離子散射能量及強度測量分析系統的研製
- Translated title
- 離子散射能量及強度測量分析系統的研製
- Creators
- 王倫 (Author)
- Contributors
- 蘇青森羅浩榮 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English