Abstract
滲氮的方式有好幾種，有氣體滲氮，鹽浴滲氮，離子滲氮，其中以離子滲氮較優，無論是在能源、公害或是效率方面的考慮，離子滲氮的方式皆較他種方式優良。又隨著機械工業的進步，對於零件的要求亦日趨嚴格，更顯示了離子氮化法對機械零件表面處理上的重要了。本實驗是自組一套離子氮化爐此爐包括了一個真空系統最高真空度是0.003Torr ，一個直流電源供應器，可供應IKVA的功率最高電壓為一千伏特最大，電流是一安培，及一個可調整的氣體控制系統。以鈦當作處理物，處理後的鈦金屬以微硬度機測其硬度，發現其硬度為未處理前之四?五倍，再以光學顯微鏡，Ｘ-ray和電子微探分析其氮化層結構。