雷射干涉微影曝光振動缺陷之分析與改善方法研究

Thesis

雷射干涉微影曝光振動缺陷之分析與改善方法研究

麥玄穎

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

雷射干涉微影

莫爾條紋

截波器

抑振

laser interference lithography

Moire pattern

optical chopper

vibration

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Details

Title: 雷射干涉微影曝光振動缺陷之分析與改善方法研究
Translated title: 雷射干涉微影曝光振動缺陷之分析與改善方法研究
Creators: 麥玄穎
Contributors: 傅建中 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017