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電性量測系統組裝與氧摻雜鍺銻合金之電性量測分析
Thesis

電性量測系統組裝與氧摻雜鍺銻合金之電性量測分析

陳君豪
Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
2008

Abstract

電性量測分析
本實驗主要為組裝電性量測系統,並藉此量測了解材料的結晶動力學行為。針對不同研究目的,自動化控制程式的不同部分去做測試,最後再對不同結構的GeSb9+Ox記憶膜進行量測。實驗結果顯示記憶層界面效應所產生的影響會大於氧摻雜的影響;而由測得的電性-溫度關係圖所求得的導電活化能顯示,記憶層GeSb9+Ox在非晶相時為p-type半導體;此外實驗也顯示在保護層鍍製的過程並不會對記憶層產生影響。

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